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AGM系列精密磨床 APP系列数控小工具头抛光机 MRP系列磁流体抛光机 IBP系列高能等离子体抛光机 MFM系列多功能复合加工床 非标定制

    IBP系列高能等离子体抛光机

    IBP系列离子束抛光机,采用稀有气体离子轰击光学镜片表面,实现原子级别分辨率的材料去除,是迄今为止最高精度的加工方式之一。
    材料适用性:石英、微晶、ULE、BK7、单晶硅、SiC、蓝宝石、白宝石等
    形状适用性:平面、球面、二次曲面、高次非球面、自由曲面
    加工精度:优于1/600λ(λ=632.8nm)RMS
    表面粗糙度:优于0.5nm RMS
产品优势

技术优势:非接触式加工,不引起疵病,且能有效去除光学表面残留的金属离子等污染;可实现亚纳米量级材料去除分辨率,加工精度极高;材料去除稳定性24小时内优于2%,加工确定性好;5轴联动,适应一般高次非球面和自由曲面加工。

产品优势:我司精心研发的最新一代的离子束抛光机采用了自主开发的低污染离子源,进一步抑制离子源自身带来的溅射污染,满足用户对污染控制的极端需求;支持进口和国产耗材替换,大幅节约使用成本;软硬件上支持一盘多片加工,无需反复抽真空,能耗小,生产率高;可选远程真空操作控制和一键真空抽取功能,更加智能化简单化。

产品参数

项目

IBP300

IBP600

IBP1000

床身材料

真空专用腔

运动轴数

X/Y/Z/A/B五轴联动(X/Y/Z三轴联动可选)

加工空间

400×400×150mm

700×700×200mm

1100×1100×250mm

最大可加工工件尺寸(φ×H)

300×150mm

600×200mm

1000×250mm

驱动形式

直线电机

重复定位精度

X/Y/Z优于±5μm

X/Y/Z优于±5μm

X/Y/Z优于±10μm

A/B ±20"

A/B ±20"

A/B ±20"

最大运动速度

X/Y/Z 3000mm/min

A/B 20rpm

极限真空度

4*10-4Pa

工作真空度

1*10-2Pa

抽真空时间

1.5h@ 4*10-4Pa

离子束径

5-40mm(可升级至1mm)

离子能量

100-2000eV

最大束电流

50mA

最大束电压

2000V

外形尺寸(宽×进深×高)

5000mm×4000mm×2500mm

5500mm×6500mm×3000mm

6500mm×7000mm×3500mm

产品质量

4000kg

8000kg

14000kg

工作气压

0.7Mpa

0.7Mpa

0.7Mpa

工作功率

14KW

20KW

23KW

工作电压

三相交流3×380V±10%

三相交流3×380V±10%

三相交流3×380V±10%

环境温度

20±2℃

20±2℃

20±2℃

湿度范围

≤50%

≤50%

≤50%

加工精度

批量生产水平:优于1/100λ (λ=632.8nm) RMS

实验室水平:优于1/600λ (λ=632.8nm) RMS

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