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IBP系列高能等离子体抛光机应用案例二

时间:2023-04-21 浏览:298次 来源:本站

IBP系列高能等离子体抛光机应用案例二:非球面精修/压高边

初始状态:表面为光学面,面形误差优于0.1入 RMS,无明显瑕疵,或存在局部高点,翘边。

最终状态:面形误差优于1/100入RMS,维持前道工序表面粗糙度和疵病等级。

工艺过程:离子束抛光1次。

加工时间:170mm口径光学元件,根据入口情况,约1小时在机加工时间。

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