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IBP系列高能等离子体抛光机应用案例一

时间:2023-03-28 浏览:266次 来源:本站

IBP系列高能等离子体抛光机应用案例一:经济精度修形(优于1入 RMS→1/1002 RMS,平面/球面/非球面)

初始状态:表面为光学面,面形误差优于1入RMS,无明显瑕疵。

最终状态:面形误差优于1/100入RMS,维持前道工序表面粗糙度和疵病等级。

工艺过程:离子束抛光选代3次以内。

加工时间:φ180mm口径光学元件,根据入口情况,约1-3小时在机加工时间。

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